微小氣(qì)體流量(liàng)計,MF4001氣體(ti)流量計(ji)
産(chǎn)品簡介(jie):
FS4001系(xì)列小流(liu)量氣體(tǐ)質量流(liu)量傳感(gǎn)器是廣(guǎng)州迪川(chuan)儀器儀(yí)表👅有限(xiàn)公司專(zhuan)門爲各(ge)類小流(liú)量氣體(tǐ)的測量(liang)🌍和過程(cheng)控㊙️制而(er)設計的(de)。這一系(xì)列傳感(gan)器均采(cǎi)用本⛹🏻♀️公(gōng)司自主(zhu)研發的(de)微機🌏電(diàn)系統(
MEMS)流量(liang)傳感芯(xin)片來制(zhi)作,适用(yong)于各類(lei)清潔氣(qi)體。*的封(fēng)裝技⭕術(shù)使之可(kě)用于各(gè)類管徑(jìng),成本低(di)、易安裝(zhuang)、不需要(yao)溫度壓(ya)力補🏃償(cháng),可替代(dai)容積式(shì)或壓差(chà)式的傳(chuan)統流量(liang)傳感器(qi)。
産(chǎn)品特點(dian):
微小氣(qì)體流量(liang)計,MF4001氣體(ti)流量計(jì)
- 傳(chuán)感器靈(ling)敏度高(gao)
,有(yǒu)極小的(de)始動流(liu)量
- 傳感器(qì)芯片采(cai)用熱質(zhì)量流量(liàng)計量
,無需(xū)溫度壓(yā)力補償(cháng)
,保(bao)證了傳(chuan)
- 感(gǎn)器的高(gao)精度計(ji)量
- 在單個(gè)芯片上(shàng)實現了(le)多傳感(gǎn)器集成(cheng)
,使(shi)傳感器(qì)的量程(chéng)比大大(da)提高
- 傳感(gǎn)器的零(ling)點穩定(dìng)度高
- 全量(liang)程高穩(wěn)定性
- 全量(liàng)程高精(jīng)确度和(he)優良的(de)重複性(xìng)
- 低(dī)功耗
- 低壓(yā)損
- 響應時(shi)間快
主要(yao)參數:
|
性能(néng)參數
|
FS4001
|
單位(wei)
|
|
通(tōng)
徑(jìng)
|
1.0
|
1.8
|
mm
|
|
zui大(da)流量
|
30, 100, 200
|
500, 1000
|
SLPM
|
|
量程(cheng)比
|
2132132132131231312100:1
|
|
|
精
度
|
±(1.5+0.2FS)
|
%
|
|
重複性(xìng)
|
0.25
|
%讀(du)數
|
|
零點輸(shū)出飄移(yí)
|
±30
|
mV
|
|
輸(shū)出飄移(yí)
|
±0.12
|
%/oC
|
|
響(xiang)應時間(jiān)
|
4, 8, 16, 33 , 65 , 131
|
mses
|
|
工(gōng)作電源(yuán)
|
8~18Vdc,50mA
|
|
|
輸(shū)出方式(shi)
|
線(xiàn)性,
RS232/模拟電(diàn)壓
0.5~4.5Vdc
|
|
|
zui大流量(liang)壓損
|
350
|
300
|
pa
|
|
zui大工(gong)作壓力(li)
|
0.5
|
MPa
|
|
工(gong)作溫度(dù)
|
-10 ~ +55
|
oC
|
|
存(cún)儲溫度(dù)
|
-20 ~ +65
|
oC
|
|
工(gōng)作濕度(dù)
|
<95%RH(無(wu)結冰、無(wu)凝露)
|
|
|
機械(xiè)接口
|
可拆(chai)式軟管(guǎn)接頭
|
|
|
校準(zhun)方式
|
空氣(qi)(或其他(tā)氣體),
20oC,
101.325kPa
|
|
|
重量
|
15
|
g
|
訂貨(huo)詳情請(qǐng):
85628522