微小氣(qì)體流量(liang)計,MF4001氣體(tǐ)流量計(jì)是廣州(zhou)迪川儀(yi)器儀表(biǎo)有🌈限公(gōng)司專門(men)爲各類(lei)小流量(liàng)氣體的(de)測量和(he)過程控(kong)制而設(shè)計的。這(zhe)一系☔列(lie)傳感器(qì)均采用(yong)本公司(sī)💛自主研(yan)發的微(wēi)機電系(xì)統（MEMS）流量(liang)傳感芯(xīn)片來制(zhi)作，适用(yong)于各類(lei)清潔氣(qi)體。*的封(feng)裝技術(shù)使之可(ke)用于各(gè)類管徑(jìng)，成本低(di)、易安裝(zhuāng)、不需要(yao)溫度壓(yā)力補償(cháng)，可替代(dai)容積式(shì)或壓差(chà)式的傳(chuán)統流量(liàng)傳感器(qì)。
産(chǎn)品簡介(jie)：
FS4001系(xì)列小流(liu)量氣體(tǐ)質量流(liu)量傳感(gǎn)器是廣(guǎng)州迪川(chuan)儀器儀(yí)表👅有限(xiàn)公司專(zhuan)門爲各(ge)類小流(liú)量氣體(tǐ)的測量(liang)🌍和過程(cheng)控㊙️制而(er)設計的(de)。這一系(xì)列傳感(gan)器均采(cǎi)用本⛹🏻♀️公(gōng)司自主(zhu)研發的(de)微機🌏電(diàn)系統（
MEMS）流量(liang)傳感芯(xin)片來制(zhi)作，适用(yong)于各類(lei)清潔氣(qi)體。*的封(fēng)裝技⭕術(shù)使之可(kě)用于各(gè)類管徑(jìng)，成本低(di)、易安裝(zhuang)、不需要(yao)溫度壓(ya)力補🏃償(cháng)，可替代(dai)容積式(shì)或壓差(chà)式的傳(chuan)統流量(liang)傳感器(qi)。
産(chǎn)品特點(dian)：
微小氣(qì)體流量(liang)計,MF4001氣體(ti)流量計(jì)
- 傳(chuán)感器靈(ling)敏度高(gao)
,有(yǒu)極小的(de)始動流(liu)量
- 傳感器(qì)芯片采(cai)用熱質(zhì)量流量(liàng)計量
,無需(xū)溫度壓(yā)力補償(cháng)
,
-
- 在單個(gè)芯片上(shàng)實現了(le)多傳感(gǎn)器集成(cheng)
,使(shi)傳感器(qì)的量程(chéng)比大大(da)提高
-
- 全量(liang)程高穩(wěn)定性
- 全量(liàng)程高精(jīng)确度和(he)優良的(de)重複性(xìng)
- 低(dī)功耗
- 低壓(yā)損
-
主要(yao)參數：
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性能(néng)參數 |
FS4001 |
單位(wei) |
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通(tōng) 徑(jìng) |
1.0 |
1.8 |
mm |
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zui大(da)流量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量程(cheng)比 |
2132132132131231312100:1 |
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精 度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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0.25 |
%讀(du)數 |
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零點輸(shū)出飄移(yí) |
±30 |
mV |
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%/oC |
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響(xiang)應時間(jiān) |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工(gōng)作電源(yuán) |
8~18Vdc,50mA |
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輸(shū)出方式(shi) |
線(xiàn)性， RS232/0.5~4.5Vdc |
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zui大流量(liang)壓損 |
350 |
300 |
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zui大工(gong)作壓力(li) |
0.5 |
MPa |
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工(gong)作溫度(dù) |
-10 ~ +55 |
oC |
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存(cún)儲溫度(dù) |
oC |
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工(gōng)作濕度(dù) |
<95%RH（無(wu)結冰、無(wu)凝露） |
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機械(xiè)接口 |
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校準(zhun)方式 |
空氣(qi)（或其他(tā)氣體）， 20oC， 101.325kPa |
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重量 |
15 |
g |
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訂貨(huo)詳情請(qǐng)： 85628522
86-020-31199948/85550363
86-020-85628533
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