氣體檢測(cè)/測漏流量(liàng)計

簡要描(miáo)述：

氣體檢(jiǎn)測/測漏流(liu)量計傳感(gan)器靈敏度(du)高,有極小(xiǎo)的始動流(liu)量🔆
- 傳感器(qì)芯片采用(yong)熱質量流(liú)量計量,無(wú)需溫度壓(ya)力補償🐕,保(bao)證了傳
- 感(gan)器的高精(jīng)度計量
- 在(zài)單個芯片(pian)上實現了(le)多傳感器(qi)集成,使傳(chuán)感器的量(liang)程比大大(dà)提高
- 傳感(gan)器的零點(dian)穩定度高(gāo) 全量程高(gāo)穩定性

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詳(xiáng)細介紹

産品簡介(jiè)：
FS4001系列小流(liú)量氣體質(zhi)量流量傳(chuan)感器是專(zhuān)門爲各類(lèi)小流量氣(qì)🈚體的測量(liang)和過程控(kòng)制而設計(jì)的。這一系(xì)列傳感器(qì)💜均采✔️用本(ben)公司自主(zhu)研發的微(wēi)機電系統(tong)（MEMS）流量傳感(gǎn)芯片來制(zhi)作💃，适用于(yú)㊙️各類清潔(jie)氣體。*的封(feng)裝技術使(shi)之可用于(yu)各類管徑(jing)，成本低、易(yì)🙇‍♀️安裝、不需(xū)要溫度壓(ya)力補償，可(kě)替代容積(ji)式或壓♋差(chà)式的傳統(tǒng)流量傳感(gǎn)器。

氣體檢(jiǎn)測/測漏流(liú)量計産品(pin)特點：
- 傳感(gan)器靈敏度(du)高,有極小(xiao)的始動流(liú)量
- 傳感器(qì)芯片采用(yòng)熱質量流(liu)量計量,無(wu)需溫度壓(ya)力💋補償,保(bǎo)證了🏃傳
- 感(gǎn)器的高精(jīng)度計量
- 在(zai)單個芯片(piàn)上實現了(le)多傳感器(qi)集成,使傳(chuán)感器的🙇‍♀️量(liang)程比大大(da)提高
- 傳感(gǎn)器的零點(dian)穩定度高(gao)
- 全量程高(gāo)穩定性
- 全(quan)量程高精(jīng)确度和優(yōu)良的重複(fú)性
- 低功耗(hào)
- 低壓損
- 響(xiang)應時間快(kuai)

主要參數(shu)：

性能參數(shù)	FS4001		單位
通徑(jing)	1.0	1.8	mm
zui大流量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量(liang)程比	2132132132131231312100:1
精度(du)	±（1.5+0.2FS）		%
重複性	0.25		%讀(du)數
零點輸(shu)出飄移	±30		mV
輸(shū)出飄移	±0.12		%/oC
響(xiǎng)應時間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工(gōng)作電源	8~18Vdc,50mA
輸(shu)出方式	線(xian)性，RS232/模拟電(dian)壓0.5~4.5Vdc
zui大流量(liàng)壓損	350	300	pa
zui大工(gong)作壓力	0.5		MPa
工(gong)作溫度	-10 ~ +55		oC
存(cún)儲溫度	-20 ~ +65		oC
工(gong)作濕度	<95%RH（無(wú)結冰、無凝(níng)露）
機械接(jie)口	可拆式(shi)軟管接頭(tóu)
校準方式(shì)	空氣（或其(qí)他氣體），20oC，101.325kPa
重(zhòng)量	15		g