産品時間：2025-12-01
FS4001系列小(xiao)流量氣體質量(liàng)流量傳感器是(shi)專門爲各類小(xiǎo)流🍉量氣㊙️體✨的測(ce)量和過程控制(zhì)而設計的。這一(yi)系列傳感器均(jun1)采用本公司自(zi)主研發的微機(ji)電系統（MEMS）流量傳(chuán)感芯片來制作(zuò)，适用于各類清(qīng)潔氣體。*的封裝(zhuāng)技術使之可用(yong)于各類管徑💁，成(cheng)本低、易☎️安裝、不(bu)需🎯要溫度壓力(lì)☔補償，可替代🥰容(rong)積式或壓差式(shi)的傳統流量傳(chuan)感器。
産品簡介(jiè)：
FS4001系列小流量氣(qì)體質量流量傳(chuan)感器 是專門爲(wei)各類小流量氣(qi)體的測量和過(guò)程控制而設計(jì)的👈。這🈲一系列傳(chuan)感器均采用本(běn)公司自主研發(fa)的微機電系統(tong)（MEMS）流量傳感芯片(pian)來制作，适用于(yú)各類清潔氣體(tǐ)。*的封裝技術使(shi)之可用于各類(lei)管徑，成本低、易(yi)安裝、不需要溫(wen)✍️度壓力補🔞償，可(kě)替代容積式或(huo)☔壓差式的傳💚統(tǒng)流量傳感器。
：
FS4001系(xì)列小流量氣體(tǐ)質量流量傳感(gan)器
靈敏度高,有(you)小的始動流量(liang)傳感器芯片采(cai)用熱質量流量(liang)計量,無需溫度(dù)壓力補償,保證(zheng)了傳感器的高(gāo)精度計量在單(dān)個芯片上實現(xian)了多傳感器集(jí)成,使傳感器的(de)量♍程比大大提(tí)高傳感器的零(ling)點穩定度高全(quan)量程高穩定性(xìng)全量程高精确(que)度和優良的♌重(zhong)複性低功耗低(di)壓損響應時間(jian)快
主要參數：
|
|
FS4001 |
單位 |
|
|
|
|
1.8 |
mm |
|
大流量 |
|
500, 1000 |
SCCM |
|
|
≥100:1 |
||
|
精 度 |
% |
||
|
0.25 |
|||
|
零點輸出(chū)飄移 |
±30 |
mV |
|
|
|
±0.12 |
%/oC |
|
|
響應時間 |
|
mses |
|
|
|
|
||
|
線性，RS232/模拟電壓(ya)0.5~4.5Vdc |
|
||
|
|
|
pa |
|
|
大(dà)工作壓力 |
|
|
|
|
工作(zuo)溫度 |
-10 ~ +55 |
||
|
|
-20 ~ +65 |
oC |
|
|
工作濕度 |
|
|
|
|
|
可拆式軟(ruǎn)管接頭 |
|
|
|
校準方(fang)式 |
空氣（或其他(tā)氣體），20oC，101.325kPa |
|
|
|
重量 |
15 |
|
|
機械(xie)尺寸：
86-020-31199948/85550363
86-020-85628533
·›