FS4000微型空(kong)氣流量傳感(gǎn)器
産品時間(jiān):2025-12-01
簡要描述:
FS4000微(wei)型空氣流量(liàng)傳感器是采(cǎi)用微機電系(xì)統(MEMS)流量傳感(gǎn)器技術和智(zhì)能電子控制(zhì)技術,專爲普(pǔ)通氣體流量(liàng)監📐測開發的(de)産品。該傳感(gan)器能直接測(ce)量氣體質量(liàng)流量🏒,低壓損(sun)🤟。适用于✊淨化(hua)空氣或氮氣(qì)流量監控,還(hai)可用于😄環境(jìng)采樣器(如色(se)譜分析儀器(qì)等)
FS4003流量(liang)傳感器,管道(dào)内徑爲3mm,成本(ben)低測量範圍(wéi)大到5SLPM;适🍓用于(yú)粒子♊計數器(qi)和各類分析(xī)儀器。
FS4008流量傳(chuan)感器,管道内(nèi)徑爲8mm,測量範(fan)圍大到50SLPM;可用(yòng)于麻醉設備(bei)、潔♌淨氣體檢(jian)測,如:空氣采(cai)樣機,氣體分(fen)析儀等
FS4000微型(xing)空氣流量傳(chuan)感器産品特(te)點:
- 專爲管徑(jing)3mm和8mm的氣管中(zhōng)的低壓氣體(tǐ)流量測量而(er)設計
- 支持多(duo)種連接方式(shì),易于安裝與(yu)使用
- 傳感芯(xin)片采用熱質(zhì)量流量計量(liàng),無需溫度壓(yā)力補償,保證(zheng)了🏃傳感器的(de)高精度計量(liang)
- 在單個芯片(piàn)上實現了多(duo)傳感器集成(chéng),使其量程比(bǐ)達到了100:1甚至(zhì)🈲更高
- 輸出方(fāng)式靈活,既可(ke)通過通訊接(jiē)口主動上傳(chuán)數據或由☎️上(shang)位機查詢輸(shu)出數據,也可(ke)通過模拟接(jiē)口輸出線性(xìng)的模拟電壓(yā)
- 零點穩定度(dù)高
- 全量程高(gao)穩定性、高精(jing)确度和優良(liáng)的重複性
- 低(di)功耗、低壓損(sun)
- 響應速度快(kuai)
FS4000微型空氣流(liú)量傳感器機(ji)械尺寸:

性能(néng)參數 | FS4003 | FS4008 | 單位 |
通(tong)徑 | 3 | 8 | mm |
大流量 | 2, 3, 4, 5 | 10, 20, 30, 40, 50 | SLPM |
量(liang)程比 | >100:1 | ||
精(jing)度 | ±(1.5+0.2FS) | % | |
重複性 | 0.5 | % | |
零(líng)點輸出飄移(yi) | ±30 | mV | |
輸出飄移 | 0.12 | %/oC | |
響(xiǎng)應時間 | 10(默認、20、50、100、200、500、1000可(ke)設置) | ms | |
工作電(diàn)源 | 8~24Vdc,50mA | ||
輸出方式 | 線(xiàn)性,RS232/模拟電壓(ya)0.5~4.5Vdc | ||
大流量壓損(sun) | 100 | 600 | pa |
大工作壓力(lì) | 0.5 | MPa | |
工作溫度 | -10 ~ +55 | oC | |
存(cún)儲溫度 | -20 ~ +65 | oC | |
工作(zuo)濕度 | <95%RH(無結冰(bīng)、無凝露) | ||
機械(xiè)接口 | BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接(jiē)頭 | ||
校準方式(shi) | 空氣(或其他(tā)氣體),20oC,101.325kPa | ||
重量 | 52(帶R1/4,BSPT1/4接口) | g | |
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