FS4001系列測量氣(qì)體流量傳感器

産(chan)品時間：2025-12-01

簡要描述(shù)：

FS4001系列測量氣體流(liu)量傳感器是專門(men)爲各類小流量🌂氣(qi)體的測量和過程(chéng)控制而設計的。這(zhe)一系列傳感器均(jun)采用本公司自主(zhǔ)研發的微機電系(xi)統（MEMS）流量傳感芯片(piàn)來制作，适用于各(ge)類清潔氣體。

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簡介：

FS4001系列(liè)測量氣體流量傳(chuan)感器 是專門(men)爲各類小流量氣(qi)體的測量和過程(chéng)控制而設計的。這(zhe)一💘系列傳感器均(jun)采用本公司自主(zhu)研發☔的微機電系(xi)統🥰（ MEMS ）流量傳感(gǎn)芯片來制作。

産品特點：
- 傳感器靈敏度高(gāo) , 有極小的始(shǐ)動流量
- 傳感(gǎn)器芯片采用熱質(zhì)量流量計量 , 無需溫度壓力補(bǔ)償 , 保證了傳(chuan)
- 感器的高精(jing)度計量
- 在單(dān)個芯片上實現了(le)多傳感器集成 , 使傳感器的量(liang)程比大大提高
- 傳感器的零點(dian)穩定度高
- 全(quan)量程高穩定性
- 全量程高精确(que)度和優良的重複(fú)性
- 低功耗
- 低壓損
- 響(xiang)應時間快
主(zhu)要參數：

性能參數(shù)	FS4001		單位
通徑	1.0	1.8	mm
大流量(liang)	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程比	>100：1
精度	±(1.5+0.2FS)		%
重複(fú)性	0.25		%讀數
零點輸出(chū)飄移	±30		mV
輸出飄移	±0.12		%/oC
響(xiǎng)應時間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電源(yuan)	8~18Vdc,50mA
輸出方式	線性，RS232/模(mó)拟電壓0.5~4.5Vdc
大流量壓(yā)損	350	300	pa
大工作壓力	0.5		MPa
工(gong)作溫度	-10 ~ +55		oC
存儲溫度(dù)	-20 ~ +65		oC
工作濕度	<95%RH（無結冰(bing)、無凝露）
機械接口(kou)	可拆式軟管接頭(tóu)
校準方式	空氣（或(huo)其他氣體），20oC，101.325kPa
重量	15		g

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