mf4001廣東(dōng)微小口(kou)徑氣體(ti)質量流(liu)量計
産(chǎn)品時間(jiān)：2025-12-01
簡要描(miao)述：
mf4001廣東(dōng)微小口(kǒu)徑氣體(ti)質量流(liú)量計是(shì)專門爲(wèi)各類小(xiǎo)流量氣(qì)體🈲的測(cè)量和過(guò)程控制(zhì)而設計(jì)的。這一(yī)系列傳(chuan)感器均(jun1)采用本(ben)公📱司自(zì)主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流✊量傳(chuan)感芯片(piàn)來制作(zuò)，适用于(yu)各🚶類清(qing)潔氣體(tǐ)。*的封裝(zhuang)技術使(shi)之可用(yòng)于各類(lei)管徑，成(cheng)🙇🏻本低、易(yì)安裝、不(bu)需要❓溫(wen)度壓力(lì)補償，可(kě)替代容(rong)積式或(huo)壓差式(shi)的傳統(tong)流量傳(chuán)感器。
mf4001廣(guǎng)東微小(xiao)口徑氣(qi)體質量(liàng)流量計(jì)
傳(chuan)感器靈(líng)敏度高(gao)
,
傳感器(qì)芯片采(cǎi)用熱質(zhi)量流量(liang)計量
無需(xu)溫度壓(ya)力補償(chang)
,
-
在單個(ge)芯片上(shang)實現了(le)多傳感(gan)器集成(cheng)
傳感(gan)器的零(líng)點穩定(dìng)度高
-
全量(liàng)程高穩(wen)定性
-
-
-
低壓(yā)損
響應時(shí)間快
mf4001廣(guang)東微小(xiao)口徑氣(qì)體質量(liang)流量計(ji)
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性(xing)能參數(shu) |
FS4001 |
單位 |
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通(tōng) 徑 |
1.0 |
1.8 |
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大流(liú)量 |
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SLPM |
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>100：1 |
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精 度(du) |
±(1.5+0.2FS) |
% |
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0.25 |
%讀數 |
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零(líng)點輸出(chu)飄移 |
±30 |
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%/oC |
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響應時(shi)間 |
4, 8, 16, 33 , 65 , 131 |
mses |
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工作(zuo)電源 |
8~18Vdc,50mA |
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輸(shu)出方式(shi) |
線性，RS232/模(mó)拟電壓(yā)0.5~4.5Vdc |
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大流量(liàng)壓損 |
350 |
pa |
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大(dà)工作壓(yā)力 |
0.5 |
MPa |
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工作(zuo)溫度 |
oC |
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oC |
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工作濕(shi)度 |
<95%RH（無結(jie)冰、無凝(níng)露） |
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可(kě)拆式軟(ruan)管接頭(tou) |
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校準方(fāng)式 |
空氣(qi)（或其他(ta)氣體），20oC，101.325kPa |
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重(zhong)量 |
g |
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