流量(liang)測量技(ji)術之 微小(xiǎo)流量 的測(ce)量     
半導體(tǐ)制造業(yè)、生物工(gōng)程、精細(xì)化工等(deng)的興起(qǐ)，使流量(liang)測量向(xiàng)低端延(yan)伸，小流(liú)量計流(liú)量的要(yào)求在上(shàng)世紀 80 ∽ 90 年代凸(tū)顯起來(lai)。何謂小(xiao)流量 ? 業界(jie)尚無*的(de)定義和(hé)界限，小(xiǎo)流量因(yīn)應用領(ling)域而異(yì)❄️是📱一個(ge)模糊的(de)概念。管(guǎn)道小流(liu)量測量(liàng)體現于(yú)管徑☎️小(xiao)和🏃🏻流速(su)🚩低兩個(gè)層次，就(jiù)流程工(gōng)業而言(yán)，習慣上(shàng) DN10 甚(shèn)至 DN15 以下管(guan)徑流量(liàng)測量稱(chēng)之小流(liu)量測量(liàng)，通常其(qi)流量值(zhí)液體爲(wei) 1L/min 或(huo) 0.06m3/h 以(yi)下，流量(liàng)儀表滿(man)度流量(liàng)時的流(liú)速低于(yú) 0.1m/s 。
1 、測量(liang)方法
傳統(tong)小流量(liàng)測量技(ji)術節流(liú)差壓 ( 層流(liu) ) 法(fa)、浮子法(fǎ)和容積(jī)法等有(yǒu)了的改(gǎi)進，新測(ce)量技術(shu)如☁️超聲(sheng)🏃法🚩、熱法(fǎ)、科裏奧(ao)利法等(děng)也有成(chéng)效地應(ying)于液體(tǐ)和氣體(ti)小流量(liàng)測量。
2 、特點(diǎn)
微(wei)小流量(liàng)與一般(bān)流量測(cè)量相比(bi)較，具有(you)以下特(te)點。
1) 雷諾數(shu)低
一般管(guan)道流動(dong)均爲紊(wěn)流流動(dòng)，流量儀(yí)表也是(shi)針對紊(wen)✨流流動(dong)态設計(ji)的，而小(xiǎo)流量儀(yi)表因管(guǎn)徑小常(chang)處于層(céng)🌐流流😄動(dòng) ( 例(li)如管内(nèi)徑 6mm ，流量 0.05L/min ， Re 爲 1800 或層流(liu) / 紊(wěn)流過渡(dù)區流态(tai)流動，小(xiǎo)流量測(cè)量受使(shǐ)用中流(liu)體🌈黏度(dù)變化📞影(ying)🈲響頗大(da)。
2) 要(yào)用實際(ji)使用流(liú)體校準(zhun)
液(yè)體流量(liang)儀表一(yī)般用水(shuǐ)校準，氣(qi)體用空(kōng)氣校準(zhǔn)。若知💃道(dao)實際💞測(ce)量流體(tǐ)與校準(zhǔn)流體間(jian)某些物(wu)性不同(tóng)對示值(zhi)有規律(lü)變化時(shí)，中大管(guan)徑流量(liàng)儀表常(cháng)以适當(dang)系數⛷️修(xiu)正。但🐇有(yǒu)些小流(liú)量儀表(biǎo)受黏度(dù)等流體(ti)物💯性影(ying)響大，須(xu)以實際(jì)使用流(liú)體校準(zhǔn)。所幸流(liú)量小，用(yòng)實際使(shi)用流體(tǐ)校準難(nán)度不大(da)，但在作(zuo)有害性(xìng)流體🤟校(xiao)準時應(yīng)注意安(ān)全和環(huán)境污染(rǎn)。
3) 要(yào)求測量(liang)時防止(zhǐ)污染流(liu)體
若測量(liàng)潔淨氣(qì)體和純(chún)水常不(bú)允許接(jiē)觸流體(tǐ)的儀表(biǎo)零件材(cai)料析出(chu)離子，例(li)如半導(dao)體制備(bèi)中儀表(biao)不能用(yòng)金屬和(he)玻🌈璃制(zhì)成，隻能(néng)用塑料(liào)。流體中(zhōng)也不允(yun)🌈許混入(ru)活動件(jian)的磨蝕(shí)塵粒。流(liú)量儀表(biao)流通通(tong)道要盡(jin)可能簡(jian)💰單，不應(yīng)有潴留(liu) ( 指(zhǐ)液體在(zài)體内不(bú)正常地(dì)聚集停(tíng)留 ) 部位，防(fáng)止潴留(liú)介質變(bian)質。
4) 氣泡和(he)塵埃附(fù)着的影(ying)響
因管徑(jìng)小黏性(xing)增加，液(ye)體中微(wei)細氣泡(pào)易在管(guǎn)系流動(dòng)過程中(zhōng)🏃‍♂️積聚變(bian)大，使測(cè)量時指(zhi)示不穩(wen)，度下降(jiang)。流體中(zhōng)塵埃附(fù)着測量(liàng)元件也(yě)要影響(xiang)測量值(zhi)，例如浮(fu)子流量(liàng)計的浮(fu)子上沉(chén)積有肉(rou)眼覺察(chá)不出的(de)附着❄️層(céng)也會影(ying)💜響示值(zhi)。
5) 流(liú)量儀表(biao)品種使(shǐ)用上受(shou)到一定(ding)限制
在衆(zhōng)多測量(liàng)原理流(liú)量儀表(biǎo)中，因各(gè)種原因(yīn)小流量(liàng)應用受(shou)到✍️一些(xiē)限制，當(dang)前能應(yīng)用于小(xiao)流量的(de)品種如(rú)表格所(suo)示